KXTJ3三軸數位加速度計

Kionix KXTJ3三軸數位加速度計是三軸±2g、±4g、±8g或±16g矽加速度計。KXTJ3的感測元件採用Kionix專有的電漿微加工製程技術建構而成。加速度的感測方式是以感測元件因加速度感應動作所引起的差分電容為基礎，並進一步利用共模抑制，減少由處理變動、溫度和環境應力所造成的錯誤。KXTJ3感測元件使用玻璃料將第二個矽蓋晶圓黏著到裝置上，以達到晶圓級密封。感測元件封裝另配有一個獨立式ASIC裝置，用於提供訊號調節和數位通訊。