特點
- 準確度/可重複性為2%/0.2%,性價比出色
- 可實現傳統上質量流量控制器成本過高的應用
- 寬控制範圍(0.2%-100%全刻度)
- 可透過可更換配件對多種氣體進行校正
- 數位RS485介面
- 小型輕量
- 一體化設計,電子元件數量少
- 穩定的供應鏈,可改善供應安全性
- 現場無須漂移校正和重新校正
- EK-F5x評估套件,可快速輕鬆進行測試
應用
- 半導體
- 分析儀器
- 醫療設備
- 工業自動化
影片
其他資源
- Application Note SFC6000/SFM6000 Mass Flow Controller/Meter
- Preliminary Datasheet SFC6000D Mass Flow Controller and SFM6000D Flow Meter
- Quick Start Guide for Mass Flow Controller Kit
- Calibration Certification – Gas Flow Sensors
- Engineering Guidelines for Mass Flow Meters
- REACH- and RoHS - Declaration
- Gas Flow Sensors Experts in Flow Sensing
發佈日期: 2023-03-06
| 更新日期: 2025-08-20

